1993年，日本首台封闭管MFX诞生（滨松搞的

  ICC讯 步入20世纪90年代，X射线检测系统如雨后春笋般在全球各地涌现，其核心——X射线源，也悄然成为众人瞩目的焦点。

  尽管滨松光子在软X射线管技术上有所积累，但面对高压微焦点X射线管(MFX)这个全新的挑战，滨松就像个新手小白，既兴奋又紧张。面对这一挑战，整个条纹管制造流程的员工被紧急召集，共同投入到这场研发战役中。他们首先深入研究了竞争对手的产品，尽管在电子轨迹设计方面还是个门外汉，但他们凭借着坚韧不拔的精神，逐步克服了模拟上的困难。1993年，经过无数个日夜的奋战，滨松光子终于成功研发出日本首台封闭型MFX——L5486。然而，由于规格上的不足，这款产品并未在市场上引起太大的波澜。但滨松并未气馁，他们根据客户反馈，不断对产品进行改进。还记得那时候，经理铃木賢次提议给MFX穿上醒目的红色外套，就像滨松人对创新的执着追求一样，热情如火，永不熄灭。

图1 70kV 封闭管MFX L5486

       为了在市场上站稳脚跟，滨松光子决定自研出更高电压的X射线源。1996年，他们成功推出了80千伏X射线源L6731，并创新性地内置了微计算机，实现了自动预热功能。这一创新之举，让滨松的产品在市场上逐渐获得了认可。

  随着市场竞争的加剧，滨松光子始终保持着以客户为中心的思想。当一位客户提出需要一款新的130千伏X射线源用于电路板检测时，滨松的研发团队就像接到了“超级任务”，再次迎难而上。他们深知，这款产品的成功，不仅关乎公司的未来发展，更关乎客户对于高质量检测的需求。因此，他们对整个配置进行了全面审查，包括管体、电源和控制板，最终成功研发出了L9181，这款产品的设计和功能至今仍是封闭型MFX的标杆。

图3 130kV 封闭管 MFX L9181

  除了满足客户的定制化需求，滨松光子还不断追求技术的突破。他们致力于减小MFX的焦点尺寸，以提高检测精度。1997年，他们实现了世界上最小的5微米焦点尺寸;2000年，他们开发出了开放型MFXL8321，最小分辨率降低至0.5微米。

图4 160kV 开放管 MFX L8321-01

  当滨松光子初次涉足MFX领域时，他们的主要目标是电路板检测。然而，随着时间的推移，这些MFX产品逐渐展现出了更广泛的应用潜力，不再局限于电路板，而是开始挑战更厚重的检测对象，如铝合金压铸件和IGBT(绝缘栅双极型晶体管)内部的空洞。这些新的应用场景对MFX提出了更高的要求，需要它们具备长时间在线检测的稳定性和可靠性。为了满足这些需求，滨松光子决定对现有的L8121-03型号进行升级。这款MFX产品原本就拥有150 kV的管电压，经过一系列改进，包括提升耐压性能、设计新型高压电源以及调整控制单元的输入电压，滨松光子在2011年8月成功推出了L12161-07型号。这款升级版的MFX产品迅速在铝合金压铸件检测和IGBT空洞检测等领域获得了广泛应用。

  图5 150kV 封闭管 MFX L12161-07

  不仅如此，L12161-07在问世十多年后，仍然保持着强大的生命力。随着锂离子电池市场的蓬勃发展，这款MFX产品也开始被用于锂离子电池的检测。150kV的管电压使得L12161-07在锂离子电池检测领域表现出色，至今仍受到许多客户的青睐。后续滨松继续推出更高性能的MFX产品。L14351封闭型MFX和L12721开放型MFX分别实现了180 kV和300 kV的最大管电压，为更大尺寸的检测对象提供了可能。

  图6 180 kV MFX L14351-02

  鉴于滨松光子在MFX研发上的那股子“拼命”劲儿，MFX产品终于在2002年第十五届《中日新闻》产业技术奖中大放异彩，一举夺得《中日新闻》奖，这可是日本中部工业界的“奥斯卡”!而到了2010年，L10711开放型MFX更是凭借那0.25微米的最小分辨率，成功拿下国际光学与光电子学会(SPIE)的棱镜奖(Prism Award)，简直是给“细节控”们送上了一枚大大的勋章。

图7 滨松MFX获奖团队合影

      滨松人靠着那股子“不撞南墙不回头，撞了南墙还要破墙走”的坚韧，以及对技术革新“爱不够，求不停”的热情，不仅让X射线源制造领域从“空白页”变成了“满页彩”，更是在全球范围内树立了行业的标杆。

图8 滨松MFX产品一览

图9 滨松中国NDT实验室能力介绍

      自1953年创立以来，滨松光子已走过了超过70载的历程，如今正稳步朝向成为百年企业的宏伟目标迈进。在庆祝70周年里程碑之后，我们满怀敬意与喜悦之情，特此推出系列纪念文章，旨在与携手同行在“光之大道”上的每一位伙伴，共同回顾、分享滨松的历程、愿景与实践。