中科光芯宣布对外提供外延片生长服务

  ICC讯 近日，高速率激光器芯片技术提供商福建中科光芯宣布对外提供外延生长服务，以满足家庭宽带、电信、数据通信、光学传感、激光雷达等领域对光芯片不断增长的需求。

  外延片是光芯片核心工艺，直接影响激光器和探测器的性能和可靠性。中科光芯外延生长材料覆盖了常见的III-V族材料铟、铝、镓和砷、磷，掺杂源包括了二乙基锌、二甲基锌、四溴化碳、乙硅烷等，掺杂浓度介于7E14 ~ 4E19之间可调，产品可以发射860~2100nm之间的激光。

  中科光芯是国内最早一批从事激光器芯片设计生产的厂家，具有10多年的激光器芯片外延生长经验，每年激光器发货5000多万只，是全球主要的PON激光器供应商。2022年，中科光芯增加了4台全新MOCVD设备并部署在中科石狮工厂，设备顺利通过试产验证并进入了量产阶段。新MOCVD设备每次可以装载12片4英寸晶圆，再加上原有的2台，中科光芯总共拥有了6台MOCVD设备，使得激光器芯片产能达到了1.8亿片/年，产能完全满足自己的激光器芯片生产需求的同时，还能支持外部科研院所和通信、传感企业的需求。

  对比其他公司，中科光芯同时拥有CCS（Closed Coupled Showerhead）MOCVD和G4式MOCVD，适用于客户的科研试制、定制设计和批量生产。CCS系统Showerhead至Wafer表面仅11~14 mm，便于精准控制气体参量；同时该系统多为石英部件，对于杂质较好管控。G4式又被称为Planetary系统，大盘和小盘均快速旋转，生长出来的wafer的一致性较好；同时G4系统部件多为石墨材料，对于压低腔内particle数量很有帮助。

  此外，为了精准监控外延生长过程和检测外延片的质量，中科光芯配置了完备的仪器设备。对于一些重要参数，公司配备了两套设备，互相交叉验证，确保万无一失。

  中科光芯砥砺前行11载，愿意与行业友人分享所悟所得；不忘初“芯”，愿与广大朋友携手前行，共同推动祖国芯片事业进步！

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