[图]【FOE】爱普生等利用MEMS开发出波长可变滤波器

　　精工爱普生和Santee公司现已使用MEMS技术，面向光通信领域开发出新型波分滤波器。主要面向采用波分复用装置（WDM）的长距离通信用波长监视设备等。“设备尺寸将会大大小于使用棱镜和AWG等装置的老式滤波器”（爱普生）。

　　此次开发的滤波器可在1520nm～1600nm的光波长之间，对需要滤波的中心波长进行控制（图）。滤波器的工作原理是：通过控制前级激光振荡器常用的FP（Fabri Perrot）型共振器长度，对在共振器中反复反射的光波波长进行控制。只有反复反射后得到放大的光才能通过滤波器。共振器的长度通过在2枚共振板之间施加电压来控制。共振器有一个反射面是很薄的硅底板，能够像扬声器振动板一样运动。另一个反射面利用玻璃底板进行固定。

　　驱动速度高达1kHz以上。芯片尺寸为5mm见方。光必须通过反射板和硅底板，才能从共振器中通过。不过，即便包括这里的损耗，整个插入损耗也只有3dB。（来源：技术在线 记者：野泽 哲生）