三星计划到2030年实现芯片工厂完全自动化，正开发本土自研智能传感器

  ICC讯  三星电子正在开发其“智能传感系统”，旨在提高产量并改变半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程。据 ET News 报道，三星最终计划到 2030 年，使其芯片工厂实现完全自动化，无需人工操作。

  三星的最终目标是到 2030 年拥有完全无人值守的半导体生产设施。实现这一目标需要开发能够管理大量数据并自动优化设备性能的系统。智能传感系统是该计划的重要组成部分，预计将在使这些智能、全自动晶圆厂成为现实方面发挥至关重要的作用。三星目前正在向智能传感器等项目投资数千万韩元。

  三星目前正在开发的智能传感器旨在测量晶圆上等离子体的均匀性，报道称这一点至关重要，因为半导体制造中的蚀刻、沉积和清洁等工艺的结果，很大程度上受到等离子体均匀性的影响。

  报道还提到这些传感器是在韩国设计和制造的。三星等韩国芯片制造商目前严重依赖外国工具来实现此类先进工艺，智能传感器的本地制造标志着一个重大变化，三星正在摆脱外国依赖。