ASML与imec签署战略合作协议 支持欧洲半导体研究与可持续创新

  ICC讯  荷兰费尔德霍芬与比利时鲁汶，2025年3月11日——ASML HoldingN.V.（ASML）与纳米电子和数字技术领域的领先研究与创新中心imec今日宣布，双方已签署一项新的战略合作协议，重点关注研究与可持续发展。

  该协议为期五年，旨在通过结合ASML和imec各自的知识与专长，在两大领域提供有价值的解决方案：一是推动半导体行业发展的解决方案，二是专注于可持续创新的举措。

  此次合作涵盖了ASML的整个产品组合，重点是利用ASML的系统开发高端节点，包括0.55NAEUV、0.33NAEUV、DUV浸没式光刻、YieldStar光学计量以及HMI单束和多束技术。这些设备将安装在imec最先进的试验生产线中，并纳入欧盟和佛兰德斯政府资助的NanoIC试验生产线，为国际半导体生态系统提供最先进的2纳米以下研发基础设施。研发重点领域还将包括硅光子学、存储器和先进封装，为未来基于半导体的AI应用提供全栈创新。

  合作的一个新领域是资助imec研究渠道中具有环境和社会效益的创新想法和活动。

  ASML总裁兼首席执行官克里斯托夫·富凯（Christophe Fouquet）表示：“该协议标志着ASML与imec长期合作的新一步。它体现了我们共同开发半导体行业解决方案的雄心，也符合我们投资于技术和社会广泛受益的创新战略。”

  imec总裁兼首席执行官卢克·范登霍夫（Luc Vandenhove）表示：“我们很高兴继续与ASML保持长期独特的合作伙伴关系，30多年来为行业提供最先进的光刻解决方案。ASML全产品组合的加入将使我们能够扩展并进一步成熟试验生产线的能力，为整个半导体生态系统提供最先进的研发支持，以应对AI驱动技术进步带来的挑战。由于imec非常注重可持续创新，将其明确纳入我们的合作伙伴关系是一个重要的补充。”

  ASML对此次合作的投资得到了欧洲芯片联合计划（Chips Joint Undertaking）、佛兰德斯政府（用于实现欧盟芯片法案NanoIC试验生产线）以及荷兰政府（作为欧洲共同利益重要项目）的资金支持。

  NanoIC试验生产线的收购和运营由欧洲芯片联合计划通过欧盟的“数字欧洲”（101183266）和“地平线欧洲”（101183277）计划，以及比利时（佛兰德斯）、法国、德国、芬兰、爱尔兰和罗马尼亚等参与国共同资助。更多信息请访问[nanoic-project.eu](http://nanoic-project.eu)。

  在imec提供0.55NA技术是荷兰政府资助的“下一代-7A项目”（IPCEI22201）的一部分，该项目被列为欧洲共同利益重要项目（IPCEI）。更多信息请访问[IPCEIME/CT](http://IPCEIME/CT)。

  原文：https://www.imec-int.com/en/press/asml-and-imec-sign-strategic-partnership-agreement-support-semiconductor-research-and