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专访中科微光子:完整硅光工艺流片能力平台讯石光通讯网专访了中科微光子科技(成都)有限公司董事长李志华，据介绍，中科院微电子所基于8英寸CMOS工艺线开发了成套硅光技术，包括硅光流片工艺库和基础器件库，制定了硅光器件和芯片的设计规则和工艺规范，形成了硅光PDK，并于2017年5月正式发布了国内首个具有完整硅光工艺流片能力的硅光平台。 http://www.iccsz.com/site/cn/news/2023/09/14/20230914081401435027.htm 2023/9/14
流片计划公布 \| 中科微光子：为国内外硅光用户提供一站式技术支持近日，中科微光子科技(成都)有限公司公布其2022年下半年及2023年基于厚硅SOI、石英衬底、 SiN材料等技术的流片计划。 http://www.iccsz.com/site/cn/news/2022/10/20/20221020100549800166.htm 2022/10/20
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专访中科微光子:完整硅光工艺流片能力平台

讯石光通讯网专访了中科微光子科技(成都)有限公司董事长李志华，据介绍，中科院微电子所基于8英寸CMOS工艺线开发了成套硅光技术，包括硅光流片工艺库和基础器件库，制定了硅光器件和芯片的设计规则和工艺规范，形成了硅光PDK，并于2017年5月正式发布了国内首个具有完整硅光工艺流片能力的硅光平台。

http://www.iccsz.com/site/cn/news/2023/09/14/20230914081401435027.htm 2023/9/14

近日，中科微光子科技(成都)有限公司公布其2022年下半年及2023年基于厚硅SOI、石英衬底、 SiN材料等技术的流片计划。

http://www.iccsz.com/site/cn/news/2022/10/20/20221020100549800166.htm 2022/10/20

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