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总部设在加州的设计商和制造商的系统公司Tegal Corporation表示,它已经与阿尔卡特子公司微加工系统(AMMS)签署了一项协议,接管阿尔卡特-朗讯集团的深层离子蚀刻反应(DRIE)和增强等离子体化学气相沉积(AMMS)的产品和相关知识产权,协议价值在500万美元。
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