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近日,CUMEC公司举行“首批CSiP180Al MPW硅光芯片”交付仪式,已完成首批MPW芯片制备与检测,并陆续交付到合肥硅臻芯片技术有限公司。
5月30日,联合微电子中心(CUMEC)在重庆向全球发布“180nm成套硅光工艺PDK”,标志着联合微电子中心具备硅基光电子领域全流程自主工艺制造能力,正式向全球提供硅光芯片流片服务。目前CUMEC硅光第一批有源流片预定6月30日注册截至,还有部分空位,预订从速!
硅光流片平台主要有:比利时的IMEC、新加坡的AMF(前身为IME)、法国的LETI、美国的AIM photonics、美国的GlobalFoudries、新加坡的CompoundTek、以色列的TowerJazz、台积电TSMC、瑞士的STMicroelectronics、德国的IHP、芬兰的VTT。北京的中科院微电子所和合肥的38所都可以对外进行硅光的MPW服务,上海微系统所也在搭建一个8寸的硅光工艺线。中芯国际也在进行硅光平台的建设。
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