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硅光波导微腔是硅光领域的核心结构之一,对于实现光滤波、激光器、光调制器、光开关、全光调控器件等功能至关重要。众所周知,更高Q值的突破一直是微腔领域的基础问题,也是决定其能否满足应用需求的关键因素。
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