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硅光芯片中的奇特材料——二氧化硅（SiO2）
二氧化硅(SiO2)是一种奇特的材料，在半导体芯片的制程中，可以作为电介质材料隔离金属与金属或晶体管与晶体管，也可以作为阻挡材料保护特定区域不被掺杂和离子注入，某些场景下也可作为刻蚀阻挡层来提高刻蚀反应的选择性。
http://www.iccsz.com/site/cn/news/2022/11/03/20221103071734017733.htm 2022/11/3
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