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中国科学院半导体研究所光子集成技术研究组在硅基光学相控阵激光雷达方面取得新研究进展。
硅基光学相控阵(OPA)激光雷达具有集成度高,扫描速度快,成本低等优势,是固态激光雷达的重要发展方向,近几年不断获得突破性进展。但是,硅基OPA发射芯片的光损耗一直是个问题,尤其是硅波导在高激光输入功率时,非线性吸收较强,如双光子吸收,自由载流子吸收等。
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