ICC讯 超厚的热氧化层硅片:在平面光波导(AWG)制作过程中,处于最底层的SiO2膜被称之为Undercladding层,它对AWG的工艺良率有至关重要的影响。KST公司生产的超厚热氧化层硅片,由于具有优异的表面洁净措施以及稳定的薄膜质量,占据了全球AWG市场的最大份额。
薄氧化层硅片:用于设备制造商的蚀刻速率测试和OSAT公司的封装测试等测试领域。
SOI晶圆:KST公司利用独有的生长工艺,能够制备氧化层厚达20um的SOI(Silicon on Insulator)晶圆。除了常规的SOI晶圆之外,KST还可以根据客户要求制作具有腔体结构的SOI晶圆(Cavity SOI),SOI 晶圆利用了 KST 独特的厚热氧化膜技术特点,是具有压力传感器等膜片结构的MEMS设备的最佳选择。
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