Riber推出MBE 8000用于批量生产外延片

  位于法国伯宗的分子束外延(MBE)系统和蒸发源提供商Riber S.A.，宣布其MBE 8000生产平台已获得美国领先外延片制造商的最终认证。

  据称，MBE 8000的生产率是市场上现有产品的两倍，还具有出色的性能。MBE技术灵活，MBE 8000能够满足所有化合物半导体不断增长的市场，包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)、晶体管、传感器等，而这些市场在均匀性、再现性和稳定性方面需要高水平的性能。

  该系统能够批量生长8片150毫米(6英寸)或4片200毫米(8英寸)晶圆，产能比现有产品提高50%。由于单元设计、系统几何和工艺控制相同，因此可确保在最短的时间内实现工艺转移，并且Riber机器易于操作。

  最后的鉴定步骤验证了MBE 8000在工艺、稳健性、稳定性、人体工程学和控制方面的性能。例如，在VCSEL型结构上测量0.8–8 μm颗粒时，30次运行的缺陷密度低于50个颗粒/cm²。